半導(dǎo)體行業(yè)全球領(lǐng)先的材料供應(yīng)商Versum Materials, Inc. (NYSE:VSM)和致力于將原子設(shè)計(jì)材料設(shè)計(jì)并集成入氣體輸送、分離與凈化系統(tǒng)的先鋒企業(yè)NuMat Technologies宣布達(dá)成一項(xiàng)全球商業(yè)協(xié)議，旨在提供一個(gè)新的產(chǎn)品系列，以實(shí)現(xiàn)砷化氫、磷化氫和三氟化硼等摻雜氣體的安全儲(chǔ)存和輸送。該新產(chǎn)品系列名為ION-X?，它以突破性的金屬有機(jī)框架材料(MOF)為基礎(chǔ)，該材料在亞大氣壓下能夠選擇性地吸附、儲(chǔ)存和安全輸送超高純度氣體。ION-X?提供優(yōu)于半導(dǎo)體設(shè)備制造離子注入工藝中所使用的傳統(tǒng)碳基吸附劑技術(shù)的性能優(yōu)點(diǎn)。

        Versum亞洲工藝材料總經(jīng)理Jim Minicucci表示：“NuMat擁有專(zhuān)利MOF制造領(lǐng)域的專(zhuān)長(zhǎng)，而Versum將利用其世界一流的全球業(yè)務(wù)覆蓋來(lái)制造和實(shí)現(xiàn)ION-X?產(chǎn)品的商業(yè)化并在全球范圍內(nèi)對(duì)該產(chǎn)品進(jìn)行分銷(xiāo)，雙方將結(jié)合各自的領(lǐng)導(dǎo)地位。依托我們?cè)谔胤N氣體領(lǐng)域的悠久歷史，公司計(jì)劃在位于韓國(guó)始華的生產(chǎn)基地設(shè)計(jì)并創(chuàng)建一家新的ION-X摻雜氣體填充廠。”

        Versum Materials高級(jí)副總裁Ed Shober表示：“能夠與NuMat Technologies攜手合作向公司全球客戶群交付ION-X?產(chǎn)品，令我們十分興奮。ION-X?是一種新的差異化的發(fā)展機(jī)會(huì)，它與我們的工藝材料業(yè)務(wù)相得益彰，此外，還與我們作為特種氣體制造商和供應(yīng)商的核心能力相一致。”

        NuMat Technologies公司首席執(zhí)行官Ben Hernandez指出：“我們很高興宣布與 Versum Materials達(dá)成此項(xiàng)協(xié)議，攜手實(shí)現(xiàn)ION-X?的全球商業(yè)化。與Versum的合作關(guān)系彰顯了NuMat差異化技術(shù)平臺(tái)與Versum在半導(dǎo)體行業(yè)中的運(yùn)營(yíng)、質(zhì)量及商業(yè)領(lǐng)先地位的戰(zhàn)略匹配性。我們期望能夠履行向客戶交付價(jià)值和創(chuàng)新的共同使命。”