根據《中華人民共和國國家標準公告》（2017年第20號）、（2017年第13號），《電子工業(yè)用氣體 硅烷》、《電子工業(yè)用氣體 丙烯》、《電子工業(yè)用氣體 三氟甲烷》、《電子工業(yè)用氣體 六氟乙烷》國家標準獲得國家質檢總局、國家標準委的正式批準和發(fā)布。