液氬選用空氣分離獲取氬，將要汽化的氣體開展精餾塔，獲得粗氬，粗氬經(jīng)進一步純化可獲得高純氬。

用途

高純氬在半導體材料工業(yè)生產(chǎn)中作為生產(chǎn)制造高純硅和鍺晶體的維護汽體；可作為系統(tǒng)軟件清理、屏蔽掉和增加用稀有氣體；在有機化學液相堆積、磁控濺射和淬火等加工工藝中有一定的運用。高純氬可作為色譜儀載氣，也可作為規(guī)模性集成電路芯片中混合氣的稀釋液氣。氬被普遍用以填充弧光燈、熒光燈管和整流管；電焊焊接保護氣；在鈦、鈷以及他特異性金屬材料的生產(chǎn)制造中作為屏蔽掉氣；在黑色冶金工業(yè)中，氬氣用以吹煉特殊鋼材，以提升鋼的品質(zhì)，尤其是不銹鋼板生產(chǎn)制造中耗費很多氬氣。

安全性

無毒性，是一種窒息氣體，高濃度時，使血氧減少而產(chǎn)生窒息，氬濃度值達50%之上，造成比較嚴重病癥；75%之上時，可在幾分鐘內(nèi)身亡。當空氣中氬濃度值提高時，先發(fā)生吸氣加快，專注力不集中化，以至身亡。防止高濃度吸進。進到罐、約束性室內(nèi)空間或別的高濃度區(qū)工作，須有些人監(jiān)測。液體氬能致肌膚受凍；眼周觸碰可造成發(fā)炎。存儲于蔭涼、自然通風的倉庫。避開火源、熱原。庫溫不適合超出30℃。應與易（可）燃物分離儲放，切勿混貯。